擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約為200度)產(chǎn)生大量的油蒸氣,,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出,;氣體分子被壓縮到低真空端,,再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級(jí)壓縮,,最后由前級(jí)泵抽走,,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的,。
如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,,合理分配加熱功率,,改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì),加以擋油帽,、障板或冷阱,、吸附阱等,就能使擴(kuò)散泵性能大大改善,,極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng),;最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng),則擴(kuò)散泵就不能正常工作,;擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái),。
由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來(lái)的油蒸氣分子,大部分由泵壁冷凝,,這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故,。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射,散射會(huì)返回被抽空間,,這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意,。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來(lái),,截止了油蒸氣的返流,。
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